Глубины микромира

При этом еще десяток лет назад об этом высокотехнологичном научно-производственном комплексе, который в ноябре прошлого года отметил свой полувековой юбилей, даже в Беларуси мало кто знал. И неудивительно, поскольку много лет конструкторское бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ) работало в режиме строгой секретности. 

Создавалось КБ в далеком 1962 году, когда микроэлектроника как наука и новая отрасль производства делала свои первые шаги, а интегральные схемы, в которых остро нуждались оборонная и космическая промышленность СССР, производились в лабораторных условиях. В бытовых приборах господствовали ламповые схемы, к тому же многие теоретики и практики вообще считали невозможным создание автоматизированного производства ИС. С высоты сегодняшнего дня даже трудно оценить грандиозность задачи, которая ставилась перед инженерами и конструкторами КБ при его создании. Получалось, что коллективу нужно было сделать невозможное. Впрочем, коллектива как такового не было. Был только начальник КБТЭМ (оно в связи с особой секретностью называлось КБ-5, или почтовый ящик 19) Илья Глазков – бывший партизанский командир, кавалер боевых орденов, а к моменту назначения на новую должность – инженер-энергетик, главный конструктор СКБ-12 Минского завода автоматических линий. 

Начинать во всем приходилось буквально с нуля, но Илье Михайловичу удалось подобрать группу единомышленников и создать в белорусской столице уникальнейшее производство высокотехнологичного оборудования мирового уровня, позволившего создать полный производственный цикл по выпуску ИС. Причем изначально, в качестве путеводной звезды, специалисты КБ избрали лозунг: «Делать не то, что хочет заказчик, а то, что ему нужно!» В условиях строжайшей секретности, закрытости иностранных научных источников и катастрофической нехватки нужной информации был избран свой путь – путь создания оригинального оборудования. При этом конструкторы работали сутками и ничем не ограничивались в своем творчестве. Напряженный труд дал свои плоды: уже в 1966 году была разработана первая фотонаборная установка (генератор изображения), а в 1967 году – поточная автоматизированная линия сборки транзисторов на ленте в пластмассовых корпусах. Также в кратчайшие сроки КБТЭМ создало опытный образец микроманипулятора ММ-1 , а затем установку для микросварки «Контакт-1». Созданные аппараты позволили совершить настоящую революцию в автоматизации процесса производства ИС, ничего подобного в СССР не было. К слову, и на Западе этими технологиями тогда владели две-три страны. 

Уникальность изделий предприятий характеризует тот факт, что точность приборов за полвека выросла в тысячи раз. Если в начале 60-х годов прошлого века специалисты КБ оперировали десятками микрон (один микрон – тысячная доля миллиметра), то сегодня речь идет о нанометрах (миллионная доля миллиметра). Образно говоря, конструкторы «Планара» сегодня решают задачу сверления отверстий в несколько раз тоньше человеческого волоса. Обычному человеку невозможно даже представить, как специалистам объединения удается резать на слои кристаллы, сверлить в них отверстия и при этом сохранять нужные структуру и физико-химические свойства. К слову, производится уникальное оборудование в таких же уникальных условиях. Под землей, как говорят на «Планаре» – на отметке «минус 7,2 м», находится производство оптико-механического и контрольно-измерительного оборудования, в том числе и лазерной техники. Подземные производственные помещения позволяют минимизировать колебания почвы, с меньшими затратами обеспечивать стабильный температурный режим и необходимую чистоту воздуха – около десятка пылинок (!) на один литр. 

О сегодняшних достижениях объединения лучше всего говорить языком фактов. ГНПО «Планар» выпускает комплекс оборудования для производства ИС и стоит в ряду мировых лидеров микроэлектроники, которых можно пересчитать по пальцам одной руки: это лучшие предприятия США, Японии, Германии и Франции. Производство «Планара» – это высочайший технологический, научный и интеллектуальный уровень, 5-6-й технологические уклады, о которых многие предприятия пока могут только мечтать, а львиная доля продукции объединения – импортозамещение и экспорт. Причем экспорт в США, Германию, Францию, Южную Корею, Израиль, Россию, Китай и другие высокоразвитые в промышленном и научном плане страны. После распада СССР объединению удалось в условиях острого дефицита финансирования научных разработок и производства быстро перестроиться, сохранив интеллектуальный и производственный потенциал, не потерять конкурентоспособность. «Планар» выстоял и, как Феникс из пепла, возродился в новом облике суперсовременного предприятия. В немалой степени этому поспособствовали программы Союзного государства, первая из которых – «Победа» – была принята в 1996 году. Затем в период с 2000 по 2006 год объединение участвовало в реализации еще двух союзных программ – «Победа-2000» и «Победа-2», которые позволили белорусам вместе с российскими коллегами создать целый спектр оптико-механического, контрольно-измерительного и сборочного оборудования. Всего же почти триста единиц высокотехнологичного оборудования поставлено на предприятия электронной промышленности России и Беларуси, а в рамках планов импортозамещения было сэкономлено порядка 100 миллионов долларов. Как рассказал корреспонденту «СВ» генеральный директор ГНПО «Планар» Геннадий Ковальчук: «С 2010 года предприятие участвует в реализации мероприятий новой программы Союзного государства «Микросистемотехника», исполнителями которой являются более двадцати предприятий России и Беларуси. Предполагается, что в результате реализации этой программы Союзное государство получит новый уровень качества жизни людей и более высокий уровень безопасности: конструкционной, на транспорте и в газовой сфере. Программа также предусматривает обеспечение глубокого технологического переоснащения производства продукции гражданского назначения, формирование технических и экономических условий для внедрения инновационных решений в производство специальной техники. В рамках программы предполагается создание новой интегрированной производственной структуры: Центра микросистемотехники в Санкт-Петербурге на базе давнего партнера «Планара» – ОАО «Авангард» и Центра фотошаблонов в Минске. Ожидается, что окупаемость программы составит около трех лет». 

Именно фотошаблоны, цена комплекта которых для изготовления одной интегральной схемы может превышать миллион долларов, будут основной продукцией создаваемого на «Планаре» центра производства оригиналов топологии изделий микросистемотехники. Планируется, что он начнет работу в 2014 году и обеспечит потребности в фотошаблонах высокого технологического уровня как российских, так и белорусских предприятий отрасли. Второй совместный центр – в ОАО «Авангард» (Санкт-Петербург) – в рамках союзной кооперации будет на белорусском оборудовании изготавливать высокотехнологичную продукцию в промышленных масштабах. 

По словам руководителя предприятия, союзная программа «Микросистемотехника» именно тем и отличается, что обеспечивает комплексный подход: параллельно с разработкой микросистемотехнических устройств отрабатывается технология их изготовления, а также создается оборудование для их производства. 

Всего в рамках программы белорусские инженеры и ученые планируют создать 14 опытных образцов технологического, контрольно-измерительного и метрологического оборудования для производства: различных датчиков пожарных извещателей и гироскопов, которые используются в мобильных телефонах. Как отмечают специалисты предприятия, применение датчиков усилий, показывающих нагрузку, которую испытывают строительные конструкции, мосты и другие инженерные сооружения, помогут в будущем избежать многих аварий, в том числе подобных той, что произошла на Саяно-Шушенской ГЭС. 

Предполагается, что сотрудничество белорусских и российских электронщиков продолжится и после окончания реализации программы «Микросистемотехники». Как сообщил корреспонденту «СВ» главный конструктор Конструкторского бюро точного электронного машиностроения-СО концерна «Планар» Святослав Школык, нынешняя программа, которая помогла отладить партнерские связи, приобрести опыт взаимодействия и сохранить рабочие места в высокотехнологичных областях, будет иметь продолжение. Она уже получила рабочее название «Микросистемотехника-2». Разрабатывается ее концепция, которая предполагает расширить круг участников и масштаб решаемых задач. Герман МОСКАЛЕНКО